Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме (Григорьянц А.Г., Мисюров А.И., Макаров В.В.)

Квантоворазмерные наноструктуры являются одним из наиболее перспективных объектов нанотехнологии, предназначенных для усиления изоляционных, оптических и магнитных эффектов в тонких пленках, а также повышения автоэмиссионных характеристик поверхностей с нанорельефом. Повышенный интерес исследователей к наноструктурам вызван проявлением у них так называемых «квантовых размерных эффектов» и связан с необычными физическими и химическими свойствами.

В данной работе проведен анализ вакуумных методов формирования квантово-размерных наноструктур. Рассмотрены наиболее распространенные методы, их особенности, принципиальные схемы и условия формирования тонких пленок, в частности метод лазерного парофазного осаждения, обладающих преимуществами по сравнению с другими методами.

Полный текст статьи Вы можете скачать по этой ссылке.